详细内容
载板电镀是指在金属载板上进行的电镀工艺。载板电镀的原理是基于电化学原理,即在电解质溶液的作用下,在金属载板上通过电流使金属离子还原,从而在载板上形成一层金属膜。不同的金属材料和电解质可以实现不同的电镀效果。
载板电镀的工艺流程包括:清洁、脱脂、进料、化学处理、水洗、电解沉积、除胶、终检等环节。其中,化学处理是整个工艺流程中重要的环节,其影响电镀效果的因素包括电压、电流、电解质浓度、流速等。
注意事项
1.化学处理液的浓度和电流要控制在合理的范围内,否则会使电镀层厚度和均匀度出现不合格情况。
2.金属载板的质量和表面处理决定了电镀层质量的好坏。
3.电镀过程容易产生热量,需要及时流动冷却水,并注意防止电解质溅出。
4.电极需要保持干净,以确保电流正常稳定。
镀层几何参数:控制是基础
载板的超细线路 / 凸点对几何尺寸要求极高,偏差会直接导致封装失效(如键合不良、短路)。
检测项目 核心标准要求 检测工具
镀层厚度 - 图形铜:厚度偏差≤±10%(如设计 10μm,实际需在 9-11μm);
- 镍层:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金层:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射线荧光测厚仪(XRF)、金相显微镜
凸点尺寸(Bump) - 直径偏差≤±5%(如设计 50μm,实际 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一载板凸点高度差≤5μm 激光共聚焦显微镜、3D 轮廓仪
线路 / 焊盘精度 - 线宽偏差≤±10%(如设计 15μm,实际 13.5-16.5μm);
- 焊盘直径偏差≤±5%;
- 线路边缘粗糙度(Ra)≤1μm