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载板电镀是先进封装载板(如 IC 载板、扇出型封装载板等)制造中的核心工艺,其质量直接决定载板的电气性能、可靠性及封装良率。由于载板需实现高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)及承载芯片的高可靠性要求,其电镀工艺及质量检测标准远高于传统 PCB,核心围绕 “镀层均匀性、致密度、附着力、纯度” 四大维度展开
载板电镀核心工艺类型
在了解检测标准前,需先明确载板电镀的关键场景,不同工艺的检测重点略有差异:
种子层电镀:通常为薄层高纯度铜(1-3μm),用于后续图形电镀的导电基底,要求低电阻、无针孔;
图形电镀:核心工艺,在线路 / 焊盘区域电镀厚铜(5-20μm,甚至更高),实现电流传输与芯片键合支撑;
凸点(Bump)电镀:如铜凸点、锡凸点,用于芯片与载板的倒装焊互连,要求的高度 / 直径控制;
表面处理电镀:如镍(Ni)、钯(Pd)、金(Au)镀层(ENEPIG/ENIG 工艺),提升焊盘抗氧化性与键合可靠性。
载板电镀与传统 PCB 电镀的核心差异
载板电镀的标准严苛性远高于传统 PCB,核心差异体现在:
对比维度 传统 PCB 电镀 载板电镀
线宽 / 焊盘尺寸 通常≥50μm 常<20μm(超细线路)
镀层厚度偏差 ≤±15% ≤±10%(部分场景≤±8%)
附着力要求 ≥0.5N/mm(铜镀层) ≥0.8N/mm(铜镀层)
杂质含量 总杂质≤100ppm 总杂质≤50ppm(高纯度)
可靠性测试时长 湿热试验 500h 湿热试验 1000h
石墨烯孔金属化工艺是与传统化学铜,黑影/日蚀等平行的线路板孔金属化技术,属于直接电镀工艺,其特点可靠,低成本,低碳环保节能降耗,可循环再利用。